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Bird 推出 0.5% 超高精度連續波與脈衝功率感測器

Bird 推出全新的7037 連續波與脈衝功率感測器 (CW & Pulse Power Sensors),乃依現行產業標準為基礎,更進一步將感測器推升至0.5% 的量測準確度,滿足實驗室和半導體研發所要求的優異精確度;翔宇科技代理Bird 旗下的射頻 (RF) 訊號量測解決方案,於1940 年成立的 Bird 歷經80 年於射頻領域的技術能量積累、與產品研發的獨創性,已成為射頻量測領域的先驅者角色。

Bird 7037 系列超高精度連續波與脈衝功率感測器
多達四組的閘道 (gated power) 功率量測

7037-1-595701-xxyy 為 13.56MHz 的感測器,其射頻功率精度為 0.5%,並在其動態範圍內仍然維持同樣優異的量測精度;Bird 7037 感測器是半導體製造在射頻產生器的校正上必不可少的工具,透過時域分析功能和射頻脈衝波型的校正視圖,可精確地掌握高功率脈衝的特性;其虛擬功率計的量測記錄功能,可用以分析射頻功率量測數據,加速射頻系統識別並簡化製程的開發。

Bird 7037 時域模式的工作方式,非常類似於現代數位示波器,其垂直軸的功率經過精確校準
Bird 7037 時域模式的工作方式,非常類似於現代數位示波器,其垂直軸的功率經過精確校準

設計具有更小幾何形狀和更高密度的半導體電路,需要在製程中產生並使用脈衝射頻功率,射頻產生器不僅需要提供脈衝的能力,還需要具備精確的射頻功率定點 (%SP, Set Point) 精度,Bird 7037 脈衝功率感測器是用於校正和驗證這些脈衝射頻產生器的解決方案。


7037 感測器在優化與檢測等離子實驗室的功率傳輸性能也是必要的工具之一,其多層級脈衝能力,可以串聯放置在 50-ohm 的環境中,用以識別製程中的問題,更可快速識別系統間的差異,幫助改善製程;Bird 7037 感測器可在系統和製程優化上,提供更詳細精確的數據。


Bird 半導體產品全球銷售經理 Mark Mims 表示 “ Bird 有自信這款全新的射頻功率感測器,可以讓您從等離子加工製程中,取得更多附加價值!” 。


產品優勢

  • 0.5% 的高準確度,讓射頻產生器的校準和驗證上更充滿自信!

  • 虛擬功率計的量測記錄功能,簡化製程的開發;

  • 時域分析功能可精確地掌握脈衝的特性;

  • 多層級脈衝量測加速識別製程上所遭遇的問題;

  • 校準可追溯至美國國家標準與技術研究院 (NIST)。


7037 脈衝功率感測器的 13.56MHz 版本為該系列率先推出的機種,之後還會陸續推出 400kHz、60MHz 以及其他頻率的感測器,敬請期待。


相關產品

Bird 7037 系列射頻功率感測器能夠以驚人的 0.5% 準確度,量測連續波 (CW) 和脈衝信號;對於在實驗室和半導體產業中,需要優異精確度的研發和生產工程師來說,這款精密感測器是不可多得的研發工具;校準可追溯至美國國家標準與技術研究院 (NIST)。

Bird 4421A 型是一款多功能功率計,可與 Bird 的精密功率感測器結合使用,以高達 0.5% 的精度顯示射頻功率讀值。直覺化的顯示介面,讓您快速識別射頻路徑內的正向和反射功率測量;還可顯示回波損耗讀值,更多的了解被監控的射頻系統。


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