4027F 系列精密濾波射頻功率感測器

Bird 4027F 射頻功率感測器系列專為半導體加工和其他需要從量測中，消除震幅調變和諧波影響的精密加工應用而設計。在精度至關重要的半導體加工和其他精密元件的應用中，4027F 功率感測器在校準頻率和功率水平下能夠達到 ±1% 的準確度。校準可追溯至美國國家標準與技術研究院 (NIST)，為感測器量測大幅提高可靠度。

重點應用

• 專為半導體加工及精密加工應用設計

• 校準可追溯至美國國家標準與技術研究院 (NIST)

• 提供濾波量測，消除震幅調變及諧波的影響

• 在指定頻率和功率水平下達 ±1% 準確度，最大限度地減少不良生產良率

特點

• 型號涵蓋 1.8 MHz 至 63 MHz 的頻率範圍

• 型號涵蓋 100 W 到 10 kW 的功率範圍

• 使用前無需現場校準，每六個月校準一次

• 與 4421A 多功能儀表搭配可即插即用

• 提供數十種連接器選配

可與4421A 多功能功率計、SCC7 及 MSCC7 校準車搭配使用

搭配 4421A 多功能功率計，即可連接一至兩個功率感測器進行量測，並且同時呈現兩組量測數值，包括：前向功率、反射功率、駐波比 (VSWR)、回波損耗 (Return Loss)、反射係數。

4027F 濾波射頻功率感測器、4421A 多功能功率計及假負載搭配