Bird 整合式校準台車：半導體製造 RF 訊號產生器校準新選擇

Bird 是 RF（無線射頻）量測儀器與設備的產業領導型解決方案提供商，透過不斷擴展半導體校正解決方案以及校準台車產品線，提升在半導體晶圓廠和代工廠中對 RF 訊號產生器進行校準的作業效率；RF訊號產生器在半導體製造中非常重要，這些訊號在製程中，用於測試和量測半導體設備的性能，Bird的產品透過整合最新的計量顯示器，提供了高度整合台車校準解決方案，以滿足半導體工業的需求；這些整合式校準台車包括不同型號：

SCC72 單一感測器校準台車解決方案

Single Sensor Calibration Cart, SCC72

MSCC72 雙感測器校準台車解決方案

SCC82 高功率校準台車解決方案

High-Power Calibration Cart, SCC82

這些款式的整合式台車解決方案，都使用了 Bird 最新的 4421A系列多功能功率計 (雙感測器顯示)，功率計的作用是改善在半導體晶圓製造廠和代工廠中，肩負 RF 訊號產生器調整與校準的重要任務。RF 訊號產生器在半導體製造中扮演關鍵角色，因為它們產生用於測試和量測半導體設備性能的射頻訊號，因此，確保這些RF訊號產生器的精度至關重要，Bird 整合式台車透過搭載最新的功率計儀表顯示器，提供了更有效率、更準確的校準解決方案，以滿足半導體晶圓製造廠和代工廠的需求。

Bird 4421A 是一款多功能功率計，可與 Bird 的精密功率感測器結合使用，以高達 0.5% 的精度顯示射頻功率讀值，讓您快速識別射頻路徑內的正向和反射功率測量。

在校準射頻（RF）訊號源時，有三個至關重要的需求：高精度功率感測器、穩定的低反射高功率負載，以及易於使用的功率計，以提供高度準確且明確的功率讀數；Bird的校準台車將這三個需求整合在一個方便攜帶的機構中，採用不鏽鋼結構以適應無塵室環境；這些校準台車對於擁有多個RF訊號產生器的半導體製造非常重要。

射頻訊號產生器進行校準，對於確保隨時間推移腔體性能的可重複性至關重要，腔體之間的匹配同樣重要，可以最大化產品產量並減少產品變異；Bird的功率感測器、功率計和負載已經成為全球信賴的標準，憑藉Bird多樣的感測器和負載選擇，每個校準車都可以根據不同的精度、頻率和功率水平進行客製化。

提供的選配項目：

• 精度在 1% 至 3% 之間

• 頻率範圍在 100kHz 至 170MHz 之間

• 最大功率在 1kW 至 25kW 之間

SCC72 整合式校準台車可配置 Bird 4027A、4027F或4020 系列感測器，提供多種頻率選擇，此校準台車還可以配置最大功率消耗 1kW 至 10kW 的負載。

Bird 4027A、4027F或4020 系列感測器

對於包含兩個頻率的應用需求，MSCC72整合式校準台車提供了高性價比的理想解決方案，MSCC7由一個5kW或10kW的負載所組成，配置有兩個Bird的4027A、4027F或4020系列感測器。

SCC8 整合式校準台車用於高功率RF訊號產生器校準的理想解決方案，配備 水冷負載 有效地處理和散熱由高功率射頻（RF）訊號產生器所產生的熱量，SCC8可以產生高達25kW的RF功率。

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關於 Bird

總部位於美國俄亥俄州 Solon 市 (臨近克里夫蘭) 的 Bird Electronics Corp. 由 Mr.J. Raymond Bird 於 1942 年創立 Bird Engineering Company 開始，至今他仍擁有 40 多項技術專利。其中 Thruline 的設計概念於 1952 年於經典產品 Bird model 43 實現，目前全世界逾 30 萬台使用中。提供簡單、準確、可靠的射頻 (RF) 訊號量測儀器，經過 60 年不斷的發展目前產品應用領域涵蓋 Broadcast, Wireless, Public Safety, Semiconductor & Military…等。

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